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超精密机床、 自由曲面掩膜直写、 光刻直写、 晶圆影切、 晶圆缺陷检测、 超快晶圆显微成像、 微纳制造、 高精度封装测试、 计量检测、 四川博瑞华芯科技有限公司、

网站描述词(103个字符):
四川博瑞华芯科技有限公司(简称CNBHC)主要致力于为超精密机床、自由曲面掩膜直写、光刻直写、晶圆影切、晶圆缺陷检测、超快晶圆显微成像、微纳制造、高精度封装测试、计量检测等领域提供超精密运动控制核心子系统。

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四 川 博 瑞 华 芯 科 技 有 限 公 司 | 直 线 定 位 平 台 | 龙 门 系 统 | 精 密 直 驱 转 台 首 页 产 品 > 直 性 定 位 平 台 线 性 定 位 平 台 经 济 型 直 驱 平 台 亚 微 米 直 驱 平 台 静 压 气 浮 直 驱 平 台 纳 米 定 位 平 台 直 性 定 位 平 台 C N B H C 将 亚 微 米 和 纳 米 定 位 领 域 1 5 年 积 累 的 宝 贵 经 验 与 机 械 设 计 、 精 密 加 工 制 造 、 基 础 装 配 工 艺 、 电 子 、 精 密 传 感 器 技 术 相 融 合 ， 为 先 进 装 备 制 造 业 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 > X Y 直 线 定 位 平 台 中 空 X Y 定 位 平 台 平 面 X Y 纳 米 定 位 平 台 静 压 气 浮 X Y 直 驱 平 台 集 成 X Y 纳 米 定 位 平 台 X Y 精 密 直 驱 平 台 C N B H C 将 亚 微 米 和 纳 米 定 位 领 域 1 5 年 积 累 的 宝 贵 经 验 与 机 械 设 计 、 精 密 加 工 制 造 、 基 础 装 配 工 艺 、 电 子 、 精 密 传 感 器 技 术 相 融 合 ， 为 先 进 装 备 制 造 业 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 > Z 向 定 位 平 台 Z 向 直 驱 平 台 Z 向 纳 米 定 位 平 台 Z 向 垂 直 升 降 台 Z 向 静 压 气 浮 直 驱 平 台 z 向 定 位 平 台 C N B H C 将 亚 微 米 和 纳 米 定 位 领 域 1 5 年 积 累 的 宝 贵 经 验 与 机 械 设 计 、 精 密 加 工 制 造 、 基 础 装 配 工 艺 、 电 子 、 精 密 传 感 器 技 术 相 融 合 ， 为 先 进 装 备 制 造 业 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 > 龙 门 系 统 机 械 龙 门 系 统 静 压 气 浮 龙 门 系 统 龙 门 系 统 C N B H C 将 亚 微 米 和 纳 米 定 位 领 域 1 5 年 积 累 的 宝 贵 经 验 与 机 械 设 计 、 精 密 加 工 制 造 、 基 础 装 配 工 艺 、 电 子 、 精 密 传 感 器 技 术 相 融 合 ， 为 先 进 装 备 制 造 业 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 > 精 密 直 驱 转 台 精 密 机 械 转 台 静 压 气 浮 转 台 回 转 工 作 台 万 向 系 统 精 密 直 驱 转 台 C N B H C 将 亚 微 米 和 纳 米 定 位 领 域 1 5 年 积 累 的 宝 贵 经 验 与 机 械 设 计 、 精 密 加 工 制 造 、 基 础 装 配 工 艺 、 电 子 、 精 密 传 感 器 技 术 相 融 合 ， 为 先 进 装 备 制 造 业 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 控 制 与 驱 动 定 制 化 产 品 与 服 务 系 统 集 成 与 开 发 解 决 方 案 航 空 航 天 与 国 防 航 空 航 天 与 国 防 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 半 导 体 与 显 示 半 导 体 与 显 示 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 激 光 微 加 工 激 光 微 加 工 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 电 子 制 造 电 子 制 造 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 光 纤 与 硅 光 子 光 纤 与 硅 光 子 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 计 量 检 测 计 量 检 测 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 精 密 制 造 精 密 制 造 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 基 础 科 学 与 研 究 基 础 科 学 与 研 究 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 医 疗 与 生 命 科 学 医 疗 与 生 命 科 学 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 光 伏 与 太 阳 能 光 伏 与 太 阳 能 多 年 来 ， C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 一 直 以 坚 持 基 础 研 究 、 传 承 工 匠 精 神 而 著 称 。 从 单 轴 到 系 统 ， 从 亚 微 米 到 纳 米 ， C N B H C 已 掌 握 整 套 关 键 技 术 。 十 五 年 的 基 础 工 艺 研 究 推 动 着 亚 微 米 、 纳 米 定 位 技 术 不 断 向 前 沿 发 展 ， 也 使 得 C N B H C 成 为 众 多 高 科 技 企 业 、 著 名 实 验 室 的 合 作 伙 伴 。 资 源 > 术 语 与 定 义 术 语 与 定 义 品 质 源 于 严 苛 的 标 准 ， 物 美 价 廉 将 导 致 劣 币 驱 逐 良 币 。 坚 持 基 础 研 究 ， 创 新 与 研 发 并 举 ， 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ， 脚 踏 实 地 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 > 定 义 与 公 式 定 义 与 公 式 品 质 源 于 严 苛 的 标 准 ， 物 美 价 廉 将 导 致 劣 币 驱 逐 良 币 。 坚 持 基 础 研 究 ， 创 新 与 研 发 并 举 ， 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ， 脚 踏 实 地 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 > 线 性 测 量 线 性 测 量 品 质 源 于 严 苛 的 标 准 ， 物 美 价 廉 将 导 致 劣 币 驱 逐 良 币 。 坚 持 基 础 研 究 ， 创 新 与 研 发 并 举 ， 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ， 脚 踏 实 地 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 > 资 源 与 下 载 > 综 合 样 本 > 手 册 列 表 > 说 明 书 列 表 > 常 见 问 题 列 表 > 资 料 勘 误 > 软 件 列 表 资 源 与 下 载 品 质 源 于 严 苛 的 标 准 ， 物 美 价 廉 将 导 致 劣 币 驱 逐 良 币 。 坚 持 基 础 研 究 ， 创 新 与 研 发 并 举 ， 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ， 脚 踏 实 地 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 服 务 与 支 持 维 修 申 请 维 修 申 请 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 现 场 服 务 预 约 现 场 服 务 预 约 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 客 户 培 训 预 约 客 户 培 训 预 约 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 远 程 技 术 支 持 远 程 技 术 支 持 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 在 线 市 场 调 研 在 线 市 场 调 研 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 满 意 度 调 查 满 意 度 调 查 C N B H C 将 严 苛 的 工 艺 标 准 融 入 全 工 艺 制 造 流 程 ， 坚 持 导 入 并 推 行 I S O 2 3 0 2 / G B 1 7 4 2 1 等 检 验 检 测 标 准 ， 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 。 践 行 “ 没 有 服 务 才 是 最 好 的 服 务 ” ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 砥 砺 前 行 。 新 闻 与 公 告 公 司 新 闻 公 司 新 闻 C N B H C 将 定 期 参 加 行 业 展 会 和 学 术 会 议 ， 如 您 有 任 何 需 求 请 随 时 和 我 们 的 研 发 和 销 售 工 程 师 一 起 探 讨 您 的 应 用 ， 并 现 场 体 验 我 们 的 产 品 。 关 于 C N B H C 最 新 的 新 闻 资 讯 请 浏 览 我 们 的 新 闻 档 案 。 行 业 资 讯 行 业 资 讯 C N B H C 将 定 期 参 加 行 业 展 会 和 学 术 会 议 ， 如 您 有 任 何 需 求 请 随 时 和 我 们 的 研 发 和 销 售 工 程 师 一 起 探 讨 您 的 应 用 ， 并 现 场 体 验 我 们 的 产 品 。 关 于 C N B H C 最 新 的 新 闻 资 讯 请 浏 览 我 们 的 新 闻 档 案 。 展 会 信 息 展 会 信 息 C N B H C 将 定 期 参 加 行 业 展 会 和 学 术 会 议 ， 如 您 有 任 何 需 求 请 随 时 和 我 们 的 研 发 和 销 售 工 程 师 一 起 探 讨 您 的 应 用 ， 并 现 场 体 验 我 们 的 产 品 。 关 于 C N B H C 最 新 的 新 闻 资 讯 请 浏 览 我 们 的 新 闻 档 案 。 客 户 活 动 客 户 活 动 C N B H C 将 定 期 参 加 行 业 展 会 和 学 术 会 议 ， 如 您 有 任 何 需 求 请 随 时 和 我 们 的 研 发 和 销 售 工 程 师 一 起 探 讨 您 的 应 用 ， 并 现 场 体 验 我 们 的 产 品 。 关 于 C N B H C 最 新 的 新 闻 资 讯 请 浏 览 我 们 的 新 闻 档 案 。 联 系 我 们 > 关 于 博 瑞 华 芯 关 于 博 瑞 华 芯 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 企 业 发 展 历 程 企 业 发 展 历 程 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 工 程 与 制 造 工 程 与 制 造 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 企 业 文 化 企 业 文 化 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 商 业 合 作 关 系 商 业 合 作 伙 伴 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 联 系 信 息 联 系 信 息 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 人 才 招 聘 > 热 招 职 位 > 长 招 职 位 热 招 职 位 C N B H C 在 超 精 密 定 位 领 域 孜 孜 求 索 和 不 断 进 步 令 业 界 瞩 目 ， 我 们 用 对 制 造 的 坚 守 和 内 “ 芯 ” 的 信 仰 为 中 国 制 造 注 入 全 “ 芯 ” 的 动 力 。 秉 承 “ 助 力 客 户 提 高 效 率 ， 持 续 为 终 端 创 造 价 值 ” 的 价 值 理 念 ， C N B H C 正 以 其 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 促 进 团 队 健 康 快 速 发 展 。 > 法 务 公 司 简 介 / c o m p a n y p r o f i l e 四 川 博 瑞 华 芯 科 技 有 限 公 司 ( 简 称 C N B H C ) 主 要 致 力 于 为 超 精 密 机 床 、 自 由 曲 面 掩 膜 直 写 、 光 刻 直 写 、 晶 圆 影 切 、 晶 圆 缺 陷 检 测 、 超 快 晶 圆 显 微 成 像 、 微 纳 制 造 、 高 精 度 封 装 测 试 、 计 量 检 测 等 领 域 提 供 超 精 密 运 动 控 制 核 心 子 系 统 。 ■ C N B H C 以 区 别 于 竞 品 的 极 致 性 能 ， 持 续 为 先 进 装 备 产 业 提 供 核 心 组 件 和 系 统 解 决 方 案 ■ C N B H C 始 终 坚 持 G B 1 7 4 2 1 、 I S O 2 3 0 2 、 V D I 3 4 4 1 等 国 际 通 用 检 测 标 准 ， 力 求 为 客 户 提 供 持 续 、 稳 定 、 高 品 质 的 产 品 和 服 务 ■ C N B H C 始 终 秉 承 “ 追 求 卓 越 品 质 、 缔 造 民 族 品 牌 ” 为 己 任 ， 坚 持 基 础 研 究 ， 传 承 工 匠 精 神 ， 为 中 国 制 造 的 荣 誉 而 砥 砺 前 行 1 5 年 + 工 程 实 践 经 验 2 0 系 列 + 完 善 的 产 品 体 系 1 0 行 业 + 应 用 解 决 方 案 1 0 0 客 户 + 高 端 装 备 产 业 产 品 中 心 / p r o d u c t 全 部 直 线 定 位 平 台 X Y 精 密 直 驱 平 台 z 向 定 位 平 台 龙 门 系 统 精 密 直 驱 转 台 控 制 与 驱 动 定 制 化 产 品 与 服 务 系 统 集 成 与 开 发 R U G 精 密 万 向 系 统 R U G _ L G 系 列 高 精 度 万 向 系 统 ， 拥 有 较 低 的 轮 廓 高 度 。 采 用 具 有 极 低 滑 动 摩 擦 系 数 的 角 接 触 轴 系 ， 可 以 提 供 精 确 的 角 度 定 位 、 极 低 的 速 度 波 动 和 高 动 态 响 应 性 能 ， 可 快 速 开 发 并 完 成 各 种 系 统 集 成 。 为 光 学 引 导 、 激 光 对 抗 、 天 线 、 高 精 度 快 反 镜 和 传 感 器 测 试 提 供 高 速 精 确 的 角 度 指 向 定 位 。 典 型 应 用 包 括 导 弹 导 引 头 测 试 与 校 准 、 光 电 传 感 器 前 视 红 外 探 测 、 陀 螺 仪 等 惯 性 传 感 器 角 度 测 试 、 M E M S 加 速 度 计 、 吊 舱 应 用 等 。 R U G _ L G 高 精 度 万 向 系 统 ， 是 C N B H C 采 用 最 新 精 密 转 台 工 艺 技 术 而 设 计 改 良 的 高 动 态 3 6 0 ° 角 度 对 位 系 统 。 可 根 据 需 求 进 行 特 殊 定 制 开 发 ， 包 括 高 低 温 、 真 空 环 境 等 特 殊 领 域 应 用 。 ■ 低 重 心 设 计 R U G 精 密 万 向 系 统 集 成 了 M D R T 和 M D R S 系 列 产 品 的 优 点 ， R U G 精 密 万 向 系 统 的 速 度 和 加 速 能 力 明 显 高 于 其 他 竞 争 产 品 。 与 给 定 扭 矩 范 围 内 的 竞 争 产 品 相 比 ， R U G 系 列 精 密 万 向 系 统 拥 有 更 低 的 尺 寸 高 度 和 出 色 的 动 态 响 应 性 能 。 当 只 需 要 有 限 角 度 旋 转 时 ， 可 通 过 取 消 高 精 度 导 电 滑 环 从 而 进 一 步 降 低 整 体 高 度 。 较 低 的 光 路 有 助 于 提 供 整 体 测 试 的 准 确 性 ( 较 低 的 阿 贝 臂 ) ， 基 于 精 密 角 接 触 轴 系 基 础 工 艺 ， R U G 提 供 了 高 精 度 、 高 动 态 、 平 滑 运 动 的 解 决 方 案 ， 低 成 本 和 低 维 护 特 性 ， 使 其 可 以 长 时 间 保 持 高 可 靠 性 和 稳 定 性 。 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 R U G 精 密 万 向 系 统 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 出 色 的 控 制 分 辨 率 R U G 高 精 度 万 向 系 统 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 ， 分 辨 率 可 达 0 . 0 0 1 ″ 。 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 。 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c s e c 。 M O R E + A C _ M R S 精 密 回 转 工 作 台 ■ 优 异 的 滑 动 摩 擦 特 性 A C _ M R S 精 密 回 转 工 作 台 集 成 了 C N C H C 自 主 研 发 的 M D R T 和 M D R S 系 列 产 品 的 优 点 ， A C 系 列 精 密 回 转 工 作 台 的 速 度 和 加 速 能 力 明 显 高 于 其 他 竞 争 产 品 。 与 给 定 扭 矩 范 围 内 的 竞 争 产 品 相 比 ， A C _ M R S 系 列 精 密 回 转 工 作 台 拥 有 更 低 的 尺 寸 高 度 。 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 A C _ M R S 系 列 精 密 回 转 工 作 台 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 出 色 的 控 制 分 辨 率 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 。 该 精 密 直 驱 转 台 分 辨 率 可 达 0 . 0 0 1 ″ 。 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 。 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c   s e c 。 ■ 出 色 的 运 动 轴 摆 A 轴 采 用 两 个 大 直 径 角 接 触 轴 承 ， 独 特 的 大 跨 距 设 计 极 大 地 减 小 了 运 动 轴 摆 ， 提 高 了 系 统 刚 度 和 重 复 性 。 同 时 大 直 径 轴 承 能 够 承 受 更 大 的 有 效 载 荷 ， 而 不 会 影 响 性 能 。 ■ A 轴 高 精 度 在 线 检 测 A C _ M R S 可 以 通 过 A 轴 后 端 进 行 在 线 高 精 度 检 测 和 误 差 修 正 。 即 使 由 于 负 载 和 阿 贝 臂 的 引 入 也 能 实 现 高 精 度 在 线 检 测 。 可 以 极 大 的 提 高 设 备 的 工 作 效 率 。 经 误 差 校 准 后 ， 可 以 获 得 ≤ 1 . 5 a r c s e c ( I S O 2 3 0 2 ) 的 定 位 精 度 。 M O R E + P l a n a r D L X Y 中 空 精 密 直 驱 平 台 P l a n a r D L X Y 集 成 一 体 式 X Y 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 ， 在 低 组 高 的 紧 凑 几 何 空 间 内 提 供 了 大 尺 寸 的 通 光 孔 径 ， 并 具 备 高 动 态 响 应 能 力 。 尤 其 适 合 于 双 面 L E D 晶 圆 缺 陷 检 测 、 高 动 态 性 能 下 进 行 准 静 态 光 学 计 量 检 测 以 及 需 要 极 高 运 动 直 线 度 和 运 动 平 面 度 的 应 用 场 合 。 该 系 列 产 品 具 有 多 个 规 格 以 及 精 度 等 级 可 选 ， 最 高 可 实 现 ＜ 1 5 0 n m ( I S O 2 3 0 2 ) 双 向 重 复 定 位 性 能 。   ■ 出 色 的 空 间 几 何 精 度 P l a n a r D L X Y 集 成 一 体 式 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 提 供 了 极 其 出 色 的 平 面 几 何 性 能 。 其 具 备 优 于 ± 0 . 5 μ m 的 运 动 直 线 度 和 优 于 ± 1 . 2 5 μ m 的 空 间 运 动 平 面 度 。 高 精 度 宽 幅 式 滚 动 摩 擦 轴 系 为 平 台 提 供 了 出 色 的 支 撑 刚 性 ， 低 重 心 设 计 更 加 有 利 于 提 升 结 构 刚 性 。 非 接 触 式 双 边 同 步 驱 动 消 除 了 因 大 通 光 孔 径 设 计 从 而 导 致 的 机 械 扭 曲 变 形 ， 使 平 台 轴 运 动 中 心 驱 动 刚 度 在 全 行 程 范 围 内 保 持 一 致 ， 从 而 实 现 终 端 负 载 出 色 的 运 动 平 面 度 性 能 。 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 9 5 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 2 0 0 n m 或 者 更 好 。 P l a n a r   D L X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 P l a n a r D L X Y 二 维 平 面 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 P l a n a r D L 1 5 0 X Y 和 P l a n a r D L 2 5 0 X Y , 每 个 轴 均 配 置 为 两 个 电 机 同 步 驱 动 且 具 有 高 伺 服 控 制 带 宽 ， 所 产 生 的 推 力 和 摩 擦 力 均 保 持 在 平 台 的 几 何 中 心 ， 这 样 的 设 计 实 现 了 平 台 出 色 的 机 械 几 何 精 度 与 动 态 性 能 的 有 机 结 合 。 ■ 集 成 线 缆 管 理 P l a n a r D L X Y 二 维 平 台 拥 有 专 为 长 寿 命 和 性 能 优 化 而 设 计 的 电 缆 管 理 系 统 ， 可 以 非 常 方 便 的 与 其 他 平 台 进 行 组 合 使 用 。 特 殊 的 线 缆 管 理 方 案 可 以 提 供 额 外 的 真 空 气 路 走 线 。 M O R E + P l a n a r D S X Y 纳 米 定 位 平 台 P l a n a r D S X Y 系 列 是 一 款 紧 凑 型 、 低 组 高 ， 同 时 具 有 优 良 几 何 机 械 精 度 、 高 动 态 性 能 的 集 成 一 体 式 X Y 平 面 运 动 纳 米 定 位 平 台 。 该 平 台 具 有 纳 米 级 的 双 向 重 复 定 位 性 能 。 可 以 广 泛 应 用 于 表 面 轮 廓 测 量 和 晶 圆 切 割 、 光 刻 直 写 、 激 光 微 纳 加 工 等 高 端 应 用 领 域 。 ■ 超 高 的 空 间 几 何 精 度 P l a n a r D S X Y 二 维 直 驱 平 台 的 直 线 度 、 正 交 误 差 等 关 键 指 标 具 有 多 种 规 格 可 选 同 时 对 结 构 刚 性 进 行 了 特 殊 的 优 化 以 满 足 苛 刻 的 高 动 态 响 应 要 求 ， 加 速 度 最 大 可 以 达 到 1 . 5 g ， 速 度 最 快 可 达 7 5 0 m m / s 。 这 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 。 该 产 品 运 行 平 滑 ， 速 度 波 动 小 ， 尤 其 适 合 于 扫 描 应 用 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 9 5 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 2 0 0 n m 或 者 更 好 。 P l a n a r D S X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 P l a n a r D S X Y 二 维 平 台 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 P l a n a r D S 2 0 0 X Y 和 P l a n a r D S 3 0 0 X Y , 每 个 轴 均 可 以 实 现 一 个 或 者 两 个 电 机 的 配 置 ， 从 而 为 各 种 不 同 负 载 的 使 用 提 供 了 更 多 的 选 择 。 无 论 是 单 电 机 还 是 双 电 机 ， 其 所 产 生 的 推 力 和 摩 擦 力 均 保 持 在 平 台 的 几 何 中 心 ， 这 样 的 设 计 保 证 了 平 台 的 性 能 。 ■ 集 成 线 缆 管 理 P l a n a r D S X Y 二 维 平 台 拥 有 专 为 长 寿 命 和 性 能 优 化 而 设 计 的 电 缆 管 理 系 统 ， 可 以 非 常 快 速 的 与 其 他 平 台 进 行 组 合 使 用 。 特 殊 的 线 缆 管 理 方 案 还 可 以 提 供 额 外 的 气 路 走 线 ， 同 时 不 影 响 平 台 的 性 能 。 M O R E + E C O 1 6 5 S L _ S L E ■ 出 色 的 防 护 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 外 部 结 构 具 有 防 止 碎 屑 、 灰 尘 进 入 的 功 能 。 防 护 罩 采 用 V 0 级 阻 燃 材 料 制 作 而 成 ， 使 其 能 够 在 较 为 恶 劣 的 工 作 环 境 下 正 常 工 作 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 关 键 结 构 件 均 经 过 有 限 元 仿 真 分 析 及 优 化 并 C N C 一 体 加 工 成 型 ， 具 有 极 高 的 稳 定 性 和 可 靠 性 。 ■ 超 精 密 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 经 济 型 线 性 位 移 台 ， 根 据 需 要 可 直 接 将 反 馈 系 统 耦 合 在 工 作 台 面 上 ， 配 合 精 密 研 磨 滚 珠 丝 杠 和 高 精 度 滚 动 摩 擦 导 轨 ， 使 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 优 异 的 定 位 精 度 、 重 复 性 表 现 和 优 于 5 0 n m 的 机 械 分 辨 率 。 ■ 灵 活 的 系 统 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 标 准 化 的 通 用 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 可 以 轻 松 组 合 两 个 、 三 个 或 更 多 轴 ， 以 实 现 灵 活 的 系 统 设 计 和 多 轴 配 置 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 也 可 用 于 Z 向 驱 动 ， 根 据 需 要 可 以 通 过 增 加 制 动 器 实 现 断 电 自 锁 防 护 。 ■ 经 济 型 运 动 平 台 与 C N B H C 其 他 高 性 能 产 品 相 比 ， E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 在 保 证 其 核 心 部 件 性 能 以 及 高 重 复 性 的 同 时 ， 兼 具 高 动 态 响 应 能 力 。 通 过 降 低 加 工 制 造 成 本 ， 为 客 户 提 供 了 极 具 性 价 比 的 低 成 本 解 决 方 案 。 M O R E + E C O 1 9 0 S L _ S L E ■ 出 色 的 防 护 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 外 部 结 构 具 有 防 止 碎 屑 、 灰 尘 进 入 的 功 能 。 防 护 罩 采 用 V 0 级 阻 燃 材 料 制 作 而 成 ， 使 其 能 够 在 较 为 恶 劣 的 工 作 环 境 下 正 常 工 作 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 关 键 结 构 件 均 经 过 有 限 元 仿 真 分 析 及 优 化 并 C N C 一 体 加 工 成 型 ， 具 有 极 高 的 稳 定 性 和 可 靠 性 。 ■ 超 精 密 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 经 济 型 线 性 位 移 台 ， 根 据 需 要 可 直 接 将 反 馈 系 统 耦 合 在 工 作 台 面 上 ， 配 合 精 密 研 磨 滚 珠 丝 杠 和 高 精 度 滚 动 摩 擦 导 轨 ， 使 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 优 异 的 定 位 精 度 、 重 复 性 表 现 和 优 于 5 0 n m 的 机 械 分 辨 率 。 ■ 灵 活 的 系 统 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 标 准 化 的 通 用 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 可 以 轻 松 组 合 两 个 、 三 个 或 更 多 轴 ， 以 实 现 灵 活 的 系 统 设 计 和 多 轴 配 置 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 也 可 用 于 Z 向 驱 动 ， 根 据 需 要 可 以 通 过 增 加 制 动 器 实 现 断 电 自 锁 防 护 。 ■ 经 济 型 运 动 平 台 与 C N B H C 其 他 高 性 能 产 品 相 比 ， E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 在 保 证 其 核 心 部 件 性 能 以 及 高 重 复 性 的 同 时 ， 兼 具 高 动 态 响 应 能 力 。 通 过 降 低 加 工 制 造 成 本 ， 为 客 户 提 供 了 极 具 性 价 比 的 低 成 本 解 决 方 案 。 M O R E + E C O 2 2 5 S L _ S L E ■ 出 色 的 防 护 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 外 部 结 构 具 有 防 止 碎 屑 、 灰 尘 进 入 的 功 能 。 防 护 罩 采 用 V 0 级 阻 燃 材 料 制 作 而 成 ， 使 其 能 够 在 较 为 恶 劣 的 工 作 环 境 下 正 常 工 作 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 的 关 键 结 构 件 均 经 过 有 限 元 仿 真 分 析 及 优 化 并 C N C 一 体 加 工 成 型 ， 具 有 极 高 的 稳 定 性 和 可 靠 性 。 ■ 超 精 密 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 经 济 型 线 性 位 移 台 ， 根 据 需 要 可 直 接 将 反 馈 系 统 耦 合 在 工 作 台 面 上 ， 配 合 精 密 研 磨 滚 珠 丝 杠 和 高 精 度 滚 动 摩 擦 导 轨 ， 使 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 优 异 的 定 位 精 度 、 重 复 性 表 现 和 优 于 5 0 n m 的 机 械 分 辨 率 。 ■ 灵 活 的 系 统 设 计 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 具 有 标 准 化 的 通 用 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 可 以 轻 松 组 合 两 个 、 三 个 或 更 多 轴 ， 以 实 现 灵 活 的 系 统 设 计 和 多 轴 配 置 。 E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 也 可 用 于 Z 向 驱 动 ， 根 据 需 要 可 以 通 过 增 加 制 动 器 实 现 断 电 自 锁 防 护 。 ■ 经 济 型 运 动 平 台 与 C N B H C 其 他 高 性 能 产 品 相 比 ， E C O _ S L / S L E 系 列 产 品 在 保 证 其 核 心 部 件 性 能 以 及 高 重 复 性 的 同 时 ， 兼 具 高 动 态 响 应 能 力 。 通 过 降 低 加 工 制 造 成 本 ， 为 客 户 提 供 了 极 具 性 价 比 的 低 成 本 解 决 方 案 。 M O R E + S W I 1 1 5 S L _ S L E ■ 出 色 的 机 械 刚 性 S W I 1 1 5 S L / S L E 亚 微 米 线 性 定 位 平 台 是 高 刚 性 、 高 精 度 、 亚 微 米 重 复 性 的 精 密 线 性 定 位 平 台 ， 行 程 从 5 0 m m ~ 2 0 0 m m 。 整 体 材 质 采 用 7 0 7 5 T 6 航 空 铝 合 金 ， 经 有 限 元 分 析 优 化 并 一 体 加 工 成 型 ， 有 效 避 免 因 铝 制 基 座 和 导 轨 的 热 膨 胀 系 数 不 同 所 导 致 的 弯 曲 效 应 。 ■ 优 化 的 侧 密 封 结 构 S W I 1 1 5 S L / S L E 亚 微 米 线 性 定 位 平 台 采 用 经 第 四 代 优 化 的 侧 密 封 结 构 。 可 以 有 效 防 止 颗 粒 粉 尘 与 加 工 碎 屑 的 进 入 ， 从 而 避 免 因 粉 尘 而 引 起 传 动 系 统 摩 擦 加 大 ， 确 保 传 动 系 统 能 够 长 期 可 靠 的 维 持 高 性 能 。 可 选 的 正 压 空 气 除 尘 系 统 进 一 步 提 升 了 设 备 的 防 护 能 力 和 长 期 可 靠 性 。 ■ 出 色 的 定 位 能 力 S W I 1 1 5 S L / S L E 能 够 提 供 快 速 平 滑 的 运 动 ， 具 有 响 应 快 、 稳 态 时 间 短 、 定 位 精 确 的 特 点 ， 非 预 拉 升 装 配 工 艺 ， 保 证 了 丝 杆 长 期 的 可 靠 性 。 具 有 低 重 心 、 高 刚 性 、 导 向 精 确 、 运 动 平 滑 、 低 速 爬 升 小 等 特 点 ， 运 动 能 力 出 色 ， 极 佳 的 负 载 能 力 和 非 常 低 的 噪 音 。 ■ 良 好 的 系 统 集 成 灵 活 性 S W I 1 1 5 S L / S L E 系 列 产 品 具 有 完 善 的 单 轴 / 多 轴 管 理 方 案 ， 且 与 C N B H C 其 他 系 列 产 品 具 有 良 好 的 兼 容 性 ， 使 设 计 具 有 充 分 的 灵 活 裕 度 ， 可 以 快 速 进 行 系 统 开 发 ， 极 大 的 减 少 设 计 开 发 工 作 量 ， 提 升 工 作 效 率 。 ■ 灵 活 的 设 计 S W I 1 1 5 S L / S L E 设 计 灵 活 ， 具 有 很 多 标 准 功 能 选 项 和 附 件 选 项 。 该 产 品 设 计 标 准 搭 载 S e r v o t r o n i x 伺 服 电 机 或 O r i e n t a l M o t o r ( 东 方 电 机 ) 五 相 步 进 电 机 。 对 于 高 精 度 的 应 用 ， 推 荐 使 用 五 相 步 进 电 机 以 获 得 更 好 的 位 置 定 位 能 力 和 定 位 稳 定 性 。 M O R E + R E I 9 5 X Y 纳 米 定 位 平 台 R E I 9 5 X Y 采 用 集 成 式 一 体 化 、 低 组 高 设 计 ， 拥 有 超 过 5 0 m m 的 行 程 ， 平 台 总 高 仅 7 5 m m 。 具 有 完 整 的 硬 限 位 和 软 限 位 保 护 ， 综 合 线 缆 管 理 系 统 和 四 种 不 同 精 度 等 级 规 格 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 R E I 9 5 X Y 纳 米 定 位 平 台 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 特 别 适 合 于 光 纤 耦 合 制 造 、 传 感 器 测 试 与 扫 描 、 显 微 镜 应 用 等 各 种 需 要 平 稳 、 快 速 定 位 和 精 确 的 运 动 场 合 。 ■ 极 致 的 空 间 几 何 精 度 R E I 9 5 X Y 允 许 对 诸 如 正 交 误 差 、 直 线 度 、 平 面 度 等 关 键 指 标 进 行 优 化 ， 从 而 实 现 用 户 特 殊 指 定 允 许 的 公 差 范 围 。 该 产 品 没 有 背 隙 且 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 ， 在 整 个 二 维 空 间 运 动 范 围 内 均 可 以 保 证 精 确 定 位 和 高 重 复 性 的 纳 米 级 运 动 性 能 。 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 9 5 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 1 5 0 n m 或 者 更 好 。 R E I 9 5 X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 多 轴 应 用 R E I 9 5 X Y 可 以 结 合 其 他 的 平 台 产 品 快 速 创 造 出 独 特 、 高 性 能 的 多 轴 系 统 ， 如 ： Z 轴 升 降 平 台 ( R E I 9 5 L M Z ) 、 精 密 转 台 、 角 位 移 台 （ 测 角 仪 ） 等 ； M O R E + R E I 1 3 0 X Y 纳 米 定 位 平 台 R E I 1 3 0 X Y 采 用 集 成 式 一 体 化 、 低 组 高 设 计 ， 拥 有 超 过 1 6 0 * 1 6 0 m m 的 行 程 ， 平 台 总 高 仅 9 0 m m 。 采 用 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 由 R E I 1 3 0 L M 单 轴 产 品 衍 生 开 发 而 来 。 具 有 完 整 的 硬 限 位 和 软 限 位 保 护 ， 综 合 线 缆 管 理 系 统 和 三 种 不 同 精 度 等 级 规 格 。 ■ 超 高 的 空 间 几 何 精 度 R E I 1 3 0 X Y 允 许 对 诸 如 正 交 误 差 、 直 线 度 、 平 面 度 等 关 键 指 标 进 行 优 化 ， 从 而 实 现 用 户 特 殊 指 定 允 许 的 公 差 范 围 。 该 产 品 没 有 背 隙 并 且 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 ， 在 整 个 二 维 空 间 运 动 范 围 内 均 可 以 保 证 精 确 定 位 和 高 重 复 性 的 纳 米 级 运 动 性 能 。 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 1 3 0 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 1 5 0 n m 或 者 更 好 。 R E I 9 5 X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 R E I 1 3 0 X Y 采 用 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 ， 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 独 特 的 结 构 设 计 、 紧 凑 的 空 间 尺 寸 使 其 在 严 苛 的 安 装 空 间 中 同 样 可 以 获 得 高 性 能 。 特 别 适 合 于 光 纤 耦 合 制 造 、 传 感 器 测 试 与 扫 描 、 显 微 镜 应 用 等 各 种 需 要 平 稳 、 快 速 定 位 和 精 确 的 运 动 场 合 。 ■ 多 轴 应 用 R E I 1 3 0 X Y 可 以 结 合 其 他 的 平 台 产 品 快 速 创 造 出 独 特 、 高 性 能 的 多 轴 系 统 ， 如 ： Z 轴 升 降 平 台 ( R E I 9 5 L M Z ) 、 精 密 转 台 、 角 位 移 台 （ 测 角 仪 ） 等 ； M O R E + P l a n a r D S X Y 纳 米 定 位 平 台 P l a n a r D S X Y 系 列 是 一 款 紧 凑 型 、 低 组 高 ， 同 时 具 有 优 良 几 何 机 械 精 度 、 高 动 态 性 能 的 集 成 一 体 式 X Y 平 面 运 动 纳 米 定 位 平 台 。 该 平 台 具 有 纳 米 级 的 双 向 重 复 定 位 性 能 。 可 以 广 泛 应 用 于 表 面 轮 廓 测 量 和 晶 圆 切 割 、 光 刻 直 写 、 激 光 微 纳 加 工 等 高 端 应 用 领 域 。 ■ 超 高 的 空 间 几 何 精 度 P l a n a r D S X Y 二 维 直 驱 平 台 的 直 线 度 、 正 交 误 差 等 关 键 指 标 具 有 多 种 规 格 可 选 同 时 对 结 构 刚 性 进 行 了 特 殊 的 优 化 以 满 足 苛 刻 的 高 动 态 响 应 要 求 ， 加 速 度 最 大 可 以 达 到 1 . 5 g ， 速 度 最 快 可 达 7 5 0 m m / s 。 这 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 。 该 产 品 运 行 平 滑 ， 速 度 波 动 小 ， 尤 其 适 合 于 扫 描 应 用 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 9 5 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 2 0 0 n m 或 者 更 好 。 P l a n a r D S X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 P l a n a r D S X Y 二 维 平 台 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 P l a n a r D S 2 0 0 X Y 和 P l a n a r D S 3 0 0 X Y , 每 个 轴 均 可 以 实 现 一 个 或 者 两 个 电 机 的 配 置 ， 从 而 为 各 种 不 同 负 载 的 使 用 提 供 了 更 多 的 选 择 。 无 论 是 单 电 机 还 是 双 电 机 ， 其 所 产 生 的 推 力 和 摩 擦 力 均 保 持 在 平 台 的 几 何 中 心 ， 这 样 的 设 计 保 证 了 平 台 的 性 能 。 ■ 集 成 线 缆 管 理 P l a n a r D S X Y 二 维 平 台 拥 有 专 为 长 寿 命 和 性 能 优 化 而 设 计 的 电 缆 管 理 系 统 ， 可 以 非 常 快 速 的 与 其 他 平 台 进 行 组 合 使 用 。 特 殊 的 线 缆 管 理 方 案 还 可 以 提 供 额 外 的 气 路 走 线 ， 同 时 不 影 响 平 台 的 性 能 。 M O R E + P l a n a r D L X Y 中 空 精 密 直 驱 平 台 P l a n a r D L X Y 集 成 一 体 式 X Y 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 ， 在 低 组 高 的 紧 凑 几 何 空 间 内 提 供 了 大 尺 寸 的 通 光 孔 径 ， 并 具 备 高 动 态 响 应 能 力 。 尤 其 适 合 于 双 面 L E D 晶 圆 缺 陷 检 测 、 高 动 态 性 能 下 进 行 准 静 态 光 学 计 量 检 测 以 及 需 要 极 高 运 动 直 线 度 和 运 动 平 面 度 的 应 用 场 合 。 该 系 列 产 品 具 有 多 个 规 格 以 及 精 度 等 级 可 选 ， 最 高 可 实 现 ＜ 1 5 0 n m ( I S O 2 3 0 2 ) 双 向 重 复 定 位 性 能 。   ■ 出 色 的 空 间 几 何 精 度 P l a n a r D L X Y 集 成 一 体 式 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 提 供 了 极 其 出 色 的 平 面 几 何 性 能 。 其 具 备 优 于 ± 0 . 5 μ m 的 运 动 直 线 度 和 优 于 ± 1 . 2 5 μ m 的 空 间 运 动 平 面 度 。 高 精 度 宽 幅 式 滚 动 摩 擦 轴 系 为 平 台 提 供 了 出 色 的 支 撑 刚 性 ， 低 重 心 设 计 更 加 有 利 于 提 升 结 构 刚 性 。 非 接 触 式 双 边 同 步 驱 动 消 除 了 因 大 通 光 孔 径 设 计 从 而 导 致 的 机 械 扭 曲 变 形 ， 使 平 台 轴 运 动 中 心 驱 动 刚 度 在 全 行 程 范 围 内 保 持 一 致 ， 从 而 实 现 终 端 负 载 出 色 的 运 动 平 面 度 性 能 。 ■ 超 高 精 度 等 级 选 项 多 轴 定 位 系 统 为 了 达 到 尽 可 能 高 的 系 统 精 度 （ 特 别 是 纳 米 级 精 度 ） ， 必 须 在 严 格 的 环 境 条 件 下 ， 在 机 械 系 统 完 全 组 装 、 功 能 测 试 完 毕 ， 使 用 特 定 检 测 仪 器 通 过 对 R E I 9 5 X Y 平 台 进 行 动 态 轨 迹 检 测 ， 同 时 将 检 测 数 据 通 过 系 统 控 制 软 件 进 行 动 态 校 准 ， 经 校 准 后 可 以 保 证 二 维 运 动 精 度 达 到 ± 2 0 0 n m 或 者 更 好 。 P l a n a r   D L X Y 标 准 版 本 和 超 高 精 度 版 本 的 性 能 差 异 主 要 通 过 正 交 误 差 进 行 体 现 。 经 校 准 后 的 超 高 精 度 版 本 可 以 对 直 线 度 、 正 交 误 差 、 偏 航 角 误 差 等 带 来 的 精 度 误 差 进 行 部 分 修 正 消 除 ， 但 并 不 意 味 着 改 变 了 原 始 的 物 理 机 械 精 度 。 ■ 非 接 触 式 直 接 驱 动 P l a n a r D L X Y 二 维 平 面 亚 微 米 精 密 直 驱 平 台 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 P l a n a r D L 1 5 0 X Y 和 P l a n a r D L 2 5 0 X Y , 每 个 轴 均 配 置 为 两 个 电 机 同 步 驱 动 且 具 有 高 伺 服 控 制 带 宽 ， 所 产 生 的 推 力 和 摩 擦 力 均 保 持 在 平 台 的 几 何 中 心 ， 这 样 的 设 计 实 现 了 平 台 出 色 的 机 械 几 何 精 度 与 动 态 性 能 的 有 机 结 合 。 ■ 集 成 线 缆 管 理 P l a n a r D L X Y 二 维 平 台 拥 有 专 为 长 寿 命 和 性 能 优 化 而 设 计 的 电 缆 管 理 系 统 ， 可 以 非 常 方 便 的 与 其 他 平 台 进 行 组 合 使 用 。 特 殊 的 线 缆 管 理 方 案 可 以 提 供 额 外 的 真 空 气 路 走 线 。 M O R E + S W I 1 6 5 Z S ■   双 平 衡 零 摩 擦 配 重 设 计 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 是 速 度 、 精 度 、 系 统 分 辨 率 、 重 复 定 位 精 度 、 可 靠 性 、 高 刚 性 轻 量 化 设 计 的 最 好 结 合 ， 是 S W I 系 列 的 衍 生 产 品 ， 该 平 台 表 现 出 了 与 S W I 系 列 同 样 出 色 的 运 动 性 能 ， 是 专 为 Z 向 高 精 度 、 高 刚 性 、 高 动 态 响 应 应 用 设 计 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 采 用 零 摩 擦 的 双 重 平 衡 机 制 ， 维 持 高 性 能 的 同 时 最 大 限 度 的 减 少 电 机 发 热 ， 平 衡 能 力 0 2 0 k g 用 户 可 调 ， 双 平 衡 设 计 最 大 限 度 减 少 了 平 台 整 体 的 高 度 和 倾 覆 扭 矩 ， 同 时 减 小 直 线 度 和 角 度 偏 摆 对 精 度 的 影 响 。 ■   非 接 触 式 直 接 驱 动 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 的 应 用 ， 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 ， 从 而 使 大 规 模 生 产 成 为 可 能 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 是 先 进 直 接 驱 动 技 术 实 现 亚 微 米 级 定 位 性 能 的 代 表 作 品 之 一 。 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 独 特 的 结 构 设 计 、 紧 凑 的 空 间 尺 寸 使 其 在 严 苛 的 安 装 空 间 中 同 样 可 以 获 得 高 性 能 。 ■   系 统 特 性 极 高 的 系 统 分 辨 率 是 出 色 的 精 度 、 重 复 定 位 精 度 、 位 置 稳 定 性 的 基 础 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 在 直 线 电 机 Z 轴 应 用 中 实 现 了 优 于 3 0 n m 的 最 小 增 量 运 动 ， 该 系 列 平 台 完 全 无 背 隙 和 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 从 而 可 以 实 现 精 确 和 高 重 复 的 亚 微 米 运 动 。 ■   灵 活 、 快 速 的 系 统 组 合 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 具 有 标 准 化 的 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 二 轴 、 三 轴 或 更 多 轴 的 应 用 均 可 以 通 过 标 准 孔 位 灵 活 的 进 行 组 装 搭 配 。 灵 活 的 设 计 非 常 便 于 多 轴 配 置 和 应 用 。 M O R E + S W I 1 9 0 Z S ■   双 平 衡 零 摩 擦 配 重 设 计 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 是 速 度 、 精 度 、 系 统 分 辨 率 、 重 复 定 位 精 度 、 可 靠 性 、 高 刚 性 轻 量 化 设 计 的 最 好 结 合 ， 是 S W I 系 列 的 衍 生 产 品 ， 该 平 台 表 现 出 了 与 S W I 系 列 同 样 出 色 的 运 动 性 能 ， 是 专 为 Z 向 高 精 度 、 高 刚 性 、 高 动 态 响 应 应 用 设 计 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 采 用 零 摩 擦 的 双 重 平 衡 机 制 ， 维 持 高 性 能 的 同 时 最 大 限 度 的 减 少 电 机 发 热 ， 平 衡 能 力 0 2 0 k g 用 户 可 调 ， 双 平 衡 设 计 最 大 限 度 减 少 了 平 台 整 体 的 高 度 和 倾 覆 扭 矩 ， 同 时 减 小 直 线 度 和 角 度 偏 摆 对 精 度 的 影 响 。 ■   非 接 触 式 直 接 驱 动 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 的 应 用 ， 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 ， 从 而 使 大 规 模 生 产 成 为 可 能 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 是 先 进 直 接 驱 动 技 术 实 现 亚 微 米 级 定 位 性 能 的 代 表 作 品 之 一 。 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 独 特 的 结 构 设 计 、 紧 凑 的 空 间 尺 寸 使 其 在 严 苛 的 安 装 空 间 中 同 样 可 以 获 得 高 性 能 。 ■   系 统 特 性 极 高 的 系 统 分 辨 率 是 出 色 的 精 度 、 重 复 定 位 精 度 、 位 置 稳 定 性 的 基 础 。 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 在 直 线 电 机 Z 轴 应 用 中 实 现 了 优 于 3 0 n m 的 最 小 增 量 运 动 ， 该 系 列 平 台 完 全 无 背 隙 和 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 从 而 可 以 实 现 精 确 和 高 重 复 的 亚 微 米 运 动 。 ■   灵 活 、 快 速 的 系 统 组 合 S W I _ Z S 系 列 双 平 衡 Z 向 精 密 直 驱 平 台 具 有 标 准 化 的 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 二 轴 、 三 轴 或 更 多 轴 的 应 用 均 可 以 通 过 标 准 孔 位 灵 活 的 进 行 组 装 搭 配 。 灵 活 的 设 计 非 常 便 于 多 轴 配 置 和 应 用 。 M O R E + R E I 9 5 Z R E I 9 5 Z 和 R E I 9 5 Z P l u s 单 平 衡 Z 向 纳 米 定 位 平 台 是 速 度 、 精 度 、 系 统 分 辨 率 、 重 复 定 位 精 度 、 可 靠 性 、 紧 凑 尺 寸 的 最 好 结 合 ， 作 为 R E I 系 列 产 品 的 衍 生 产 品 ， 该 平 台 表 现 出 了 与 R E I 9 5 L M 系 列 同 样 的 运 动 性 能 ， 是 需 要 紧 凑 空 间 应 用 的 最 佳 Z 轴 选 择 。 ■   出 色 的 动 平 衡 机 制 R E I 9 5 Z 纳 米 定 位 平 台 采 用 几 乎 零 摩 擦 的 平 衡 机 制 ， 维 持 高 性 能 的 同 时 最 大 限 度 的 减 少 电 机 的 发 热 。 平 衡 能 力 从 0 到 7 K g 用 户 可 调 。 ■   非 接 触 式 直 接 驱 动 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 的 应 用 ， 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 ， 从 而 使 其 大 规 模 生 产 成 为 可 能 。 R E I 9 5 Z 系 列 微 动 纳 米 定 位 平 台 是 先 进 的 直 接 驱 动 技 术 实 现 纳 米 级 定 位 性 能 的 代 表 作 品 之 一 。 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 独 特 的 结 构 设 计 、 紧 凑 的 空 间 尺 寸 使 其 在 严 苛 的 安 装 空 间 中 同 样 可 以 获 得 高 性 能 。 特 别 适 合 于 光 纤 耦 合 制 造 、 传 感 器 测 试 与 扫 描 、 显 微 镜 应 用 等 各 种 需 要 平 稳 、 快 速 定 位 和 精 确 的 运 动 场 合 。 ■   灵 活 的 系 统 设 计 R E I 系 列 产 品 具 有 标 准 化 的 通 用 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 二 轴 、 三 轴 或 更 多 轴 的 应 用 均 可 以 通 过 标 准 孔 位 灵 活 的 进 行 组 装 搭 配 。 灵 活 的 设 计 非 常 便 于 多 轴 配 置 和 应 用 。 ■   系 统 特 性 极 高 的 系 统 分 辨 率 是 出 色 的 精 度 、 重 复 定 位 精 度 、 位 置 稳 定 性 的 基 础 。 R E I 9 5 Z Z 向 纳 米 定 位 平 台 在 直 线 电 机 应 用 中 实 现 了 优 于 2 n m 的 最 小 增 量 运 动 ， 该 系 列 平 台 完 全 无 背 隙 和 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 从 而 可 以 实 现 精 确 和 高 重 复 的 纳 米 运 动 ， 以 及 极 低 速 的 平 滑 运 动 ( ＜ 1 0 n m / s ) 。 M O R E + R E I 1 3 0 Z R E I 1 3 0 Z 和 R E I 1 3 0 Z P l u s 单 平 衡 Z 向 纳 米 定 位 平 台 是 速 度 、 精 度 、 系 统 分 辨 率 、 重 复 定 位 精 度 、 可 靠 性 、 紧 凑 尺 寸 的 最 好 结 合 ， 作 为 R E I 系 列 产 品 的 衍 生 产 品 ， 该 平 台 表 现 出 了 与 R E I 1 3 0 L M 系 列 同 样 的 运 动 性 能 ， 是 需 要 紧 凑 空 间 应 用 的 最 佳 Z 轴 选 择 。 ■   出 色 的 动 平 衡 机 制 R E I 1 3 0 Z 纳 米 定 位 平 台 采 用 几 乎 零 摩 擦 的 平 衡 机 制 ， 维 持 高 性 能 的 同 时 最 大 限 度 的 减 少 电 机 的 发 热 。 平 衡 能 力 从 0 到 7 K g 用 户 可 调 。 ■   非 接 触 式 直 接 驱 动 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 的 应 用 ， 使 精 密 微 加 工 和 精 密 测 量 设 备 具 备 了 可 靠 、 稳 定 、 准 确 而 快 速 的 定 位 能 力 ， 从 而 使 其 大 规 模 生 产 成 为 可 能 。 R E I 1 3 0 Z 系 列 微 动 纳 米 定 位 平 台 是 先 进 的 直 接 驱 动 技 术 实 现 纳 米 级 定 位 性 能 的 代 表 作 品 之 一 。 非 接 触 式 直 接 驱 动 技 术 具 有 高 动 态 性 能 、 零 齿 槽 效 应 、 亚 纳 米 级 分 辨 率 、 极 低 的 速 度 波 动 、 高 速 高 精 度 等 特 点 。 独 特 的 结 构 设 计 、 紧 凑 的 空 间 尺 寸 使 其 在 严 苛 的 安 装 空 间 中 同 样 可 以 获 得 高 性 能 。 特 别 适 合 于 光 纤 耦 合 制 造 、 传 感 器 测 试 与 扫 描 、 显 微 镜 应 用 等 各 种 需 要 平 稳 、 快 速 定 位 和 精 确 的 运 动 场 合 。 ■   灵 活 的 系 统 设 计 R E I 系 列 产 品 具 有 标 准 化 的 通 用 安 装 方 式 ， 便 于 系 统 集 成 。 二 轴 、 三 轴 或 更 多 轴 的 应 用 均 可 以 通 过 标 准 孔 位 灵 活 的 进 行 组 装 搭 配 。 灵 活 的 设 计 非 常 便 于 多 轴 配 置 和 应 用 。 ■   系 统 特 性 极 高 的 系 统 分 辨 率 是 出 色 的 精 度 、 重 复 定 位 精 度 、 位 置 稳 定 性 的 基 础 。 R E I 1 3 0 Z Z 向 纳 米 定 位 平 台 在 直 线 电 机 应 用 中 实 现 了 优 于 2 n m 的 最 小 增 量 运 动 ， 该 系 列 平 台 完 全 无 背 隙 和 近 乎 零 系 统 迟 滞 性 从 而 可 以 实 现 精 确 和 高 重 复 的 纳 米 运 动 ， 以 及 极 低 速 的 平 滑 运 动 ( ＜ 1 0 n m / s ) 。 M O R E + M D R S 1 0 0 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 M D R S 1 0 0 低 组 高 精 密 直 驱 转 台 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 直 接 耦 合 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 M D R S 1 0 0 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 。 该 精 密 直 驱 转 台 提 供 了 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 ， 而 无 需 所 有 直 流 电 机 的 固 有 维 护 要 求 ， 其 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c   s e c 。 ■ 无 刷 驱 动 M D R S 1 0 0 精 密 机 械 转 台 采 用 无 刷 直 驱 电 机 技 术 ， 最 大 限 度 地 提 高 了 定 位 性 能 和 动 态 响 应 性 能 。 无 需 更 换 电 刷 ， 也 无 需 维 护 轮 系 或 皮 带 。 与 齿 轮 或 皮 带 驱 动 机 构 相 比 ， 直 接 驱 动 还 提 供 更 快 的 加 速 度 和 更 高 的 响 应 速 度 。 ■ 紧 凑 的 结 构 M D R S 1 0 0 精 密 机 械 转 台 针 对 滑 动 摩 擦 轴 系 与 反 馈 系 统 进 行 了 特 殊 的 优 化 设 计 ， 使 工 作 台 高 度 最 小 化 ， 降 低 了 系 统 的 有 效 工 作 高 度 ， 最 大 限 度 地 减 少 了 轴 向 误 差 和 轴 摆 误 差 所 带 来 的 阿 贝 误 差 。 除 了 整 体 高 度 较 低 外 ， M D R S 系 列 产 品 还 设 计 了 标 准 的 通 光 孔 径 ， 可 用 于 光 束 传 输 。 M O R E + M D R S 1 5 0 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 M D R S 1 5 0 低 组 高 精 密 直 驱 转 台 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 直 接 耦 合 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 M D R S 1 5 0 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 。 该 精 密 直 驱 转 台 提 供 了 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 ， 而 无 需 所 有 直 流 电 机 的 固 有 维 护 要 求 ， 其 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c   s e c 。 ■ 无 刷 驱 动 M D R S 1 5 0 精 密 机 械 转 台 采 用 无 刷 直 驱 电 机 技 术 ， 最 大 限 度 地 提 高 了 定 位 性 能 和 动 态 响 应 性 能 。 无 需 更 换 电 刷 ， 也 无 需 维 护 轮 系 或 皮 带 。 与 齿 轮 或 皮 带 驱 动 机 构 相 比 ， 直 接 驱 动 还 提 供 更 快 的 加 速 度 和 更 高 的 响 应 速 度 。 ■ 紧 凑 的 结 构 M D R S 1 5 0 精 密 机 械 转 台 针 对 滑 动 摩 擦 轴 系 与 反 馈 系 统 进 行 了 特 殊 的 优 化 设 计 ， 使 工 作 台 高 度 最 小 化 ， 降 低 了 系 统 的 有 效 工 作 高 度 ， 最 大 限 度 地 减 少 了 轴 向 误 差 和 轴 摆 误 差 所 带 来 的 阿 贝 误 差 。 除 了 整 体 高 度 较 低 外 ， M D R S 系 列 产 品 还 设 计 了 标 准 的 通 光 孔 径 ， 可 用 于 光 束 传 输 。 M O R E + M D R S 2 0 0 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 M D R S 2 0 0 低 组 高 精 密 直 驱 转 台 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 直 接 耦 合 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 M D R S 2 0 0 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 。 该 精 密 直 驱 转 台 提 供 了 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 ， 而 无 需 所 有 直 流 电 机 的 固 有 维 护 要 求 ， 其 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c   s e c 。 ■ 无 刷 驱 动 M D R S 2 0 0 精 密 机 械 转 台 采 用 无 刷 直 驱 电 机 技 术 ， 最 大 限 度 地 提 高 了 定 位 性 能 和 动 态 响 应 性 能 。 无 需 更 换 电 刷 ， 也 无 需 维 护 轮 系 或 皮 带 。 与 齿 轮 或 皮 带 驱 动 机 构 相 比 ， 直 接 驱 动 还 提 供 更 快 的 加 速 度 和 更 高 的 响 应 速 度 。 ■ 紧 凑 的 结 构 M D R S 2 0 0 精 密 机 械 转 台 针 对 滑 动 摩 擦 轴 系 与 反 馈 系 统 进 行 了 特 殊 的 优 化 设 计 ， 使 工 作 台 高 度 最 小 化 ， 降 低 了 系 统 的 有 效 工 作 高 度 ， 最 大 限 度 地 减 少 了 轴 向 误 差 和 轴 摆 误 差 所 带 来 的 阿 贝 误 差 。 除 了 整 体 高 度 较 低 外 ， M D R S 系 列 产 品 还 设 计 了 标 准 的 通 光 孔 径 ， 可 用 于 光 束 传 输 。 M O R E + M D R T 1 5 0 ■ 卓 越 的 定 位 能 力 M D R T 1 5 0 高 刚 性 精 密 直 驱 转 台 凭 借 高 性 能 的 无 铁 芯 力 矩 电 机 配 合 精 密 调 校 的 角 接 触 滑 动 摩 擦 轴 系 ， 为 系 统 提 供 了 高 达 0 . 0 2 a r c s e c 的 控 制 分 辨 率 。 极 小 且 趋 于 线 性 的 滑 动 摩 擦 阻 力 为 系 统 的 微 步 增 量 运 动 提 供 了 保 障 ， 使 其 具 有 优 于 ± 0 . 0 8 a r c s e c 的 卓 越 位 置 定 位 能 力 ( 稳 态 误 差 ) 和 优 于 2 5 m s 的 快 速 整 定 时 间 ( 稳 态 时 间 ) 。 ■ 出 色 的 控 制 分 辨 率 M D R T 1 5 0 采 用 分 体 式 无 铁 芯 力 矩 电 机 ， 降 低 了 周 期 性 的 转 矩 误 差 。 该 精 密 直 驱 转 台 分 辨 率 可 达 0 . 0 0 1 ″ 。 超 平 滑 的 速 度 稳 定 性 ， 可 与 高 质 量 的 直 流 有 刷 电 机 相 媲 美 。 低 速 性 能 优 异 ， 即 使 以 低 于 0 . 0 1 ° ( 3 6 a r c s e c ) / s 的 极 低 速 转 动 时 ， 其 位 置 跟 随 误 差 仍 可 优 于 ± 0 . 5 a r c   s e c 。 ■ 无 刷 直 驱 M D R T 1 5 0 精 密 机 械 转 台 采 用 无 刷 直 驱 电 机 技 术 ， 最 大 限 度 地 提 高 了 定 位 性 能 和 动 态 响 应 性 能 。 无 需 更 换 电 刷 ， 也 无 需 维 护 轮 系 或 皮 带 。 与 齿 轮 或 皮 带 驱 动 机 构 相 比 ， 直 接 驱 动 还 提 供 更 快 的 加 速 度 和 更 高 的 响 应 速 度 。 ■ 出 色 的 运 动 轴 摆 M D R T 1 5 0 高 承 载 精 密 直 驱 转 台 采 用 两 个 大 直 径 角 接 触 轴 承 ， 独 特 的 大 跨 距 设 计 极 大 地 减 小 了 运 动 轴 摆 ， 提 高 了 系 统 刚 度 和 重 复 性 。 同 时 大 直 径 轴 承 能 够 承 受 更 大 的 有 效 载 荷 ， 而 不 会 影 响 性 能 。 ■ 灵 活 的 配 置 M D R T 1 5 0 是 一 款 具 有 集 成 “ T 型 槽 ” 的 旋 转 工 作 台 。 这 些 槽 可 用 于 水 平 安 装 工 作 台 或 连 接 定 制 的 应 用 专 用 夹 具 。 M O R E + C K 3 M C K 3 M 高 性 能 纳 米 级 运 动 控 制 器 是 O M R O N 基 于 P o w e r U M A C 高 性 能 运 动 控 制 器 研 发 的 系 统 级 多 轴 运 动 控 制 器 ， 其 可 以 根 据 应 用 配 置 成 定 制 化 的 控 制 系 统 。 C K 3 M 具 有 5 0 μ s / 5 轴 的 伺 服 循 环 周 期 ， 凭 借 超 高 速 反 馈 控 制 ， 在 精 密 加 工 领 域 可 实 现 高 精 度 的 轮 廓 轨 迹 控 制 。 C K 3 M 可 以 支 持 基 于 模 拟 指 令 ( D A C 、 P F M / 正 交 脉 冲 、 直 接 P W M ) 的 轴 控 制 。 能 够 与 高 响 应 性 的 音 圈 电 机 和 精 密 的 直 线 电 机 等 各 种 电 机 相 连 接 ， 进 行 精 确 的 定 位 控 制 和 高 动 态 响 应 控 制 。 支 持 几 乎 所 有 反 馈 类 型 ， 包 括 但 不 限 于 A / B 相 信 号 、 串 行 数 据 I / F ， S i n / C o s ， 激 光 干 涉 仪 等 ， 采 用 C 语 言 / P r o g r a m m a b l e M u l t i A x i s C o n t r o l l e r 专 用 语 言 / G 代 码 等 编 程 语 言 ， 设 计 开 发 灵 活 ， 可 以 根 据 实 际 需 要 搭 建 不 同 数 学 模 型 ， 支 持 自 定 义 控 制 算 法 ， 包 括 但 不 限 于 五 轴 联 动 算 法 、 六 轴 并 联 算 法 、 自 定 义 P I D 算 法 等 。 M O R E + P o w e r U M A C P o w e r U M A C 运 动 控 制 器 是 D e l t a T a u ( O M R O N ) 研 发 的 系 统 级 多 轴 运 动 控 制 器 ， 其 可 以 根 据 应 用 配 置 成 定 制 化 的 控 制 系 统 ， 是 一 款 拥 有 内 置 I / O 、 电 源 以 及 完 整 封 装 的 专 业 运 动 控 制 器 。 采 用 E t h e r n e t 通 讯 方 式 与 主 计 算 机 进 行 通 讯 。 3 U 结 构 的 U M A C 控 制 器 配 线 （ R T B / D B ） 安 装 十 分 简 便 ， 可 根 据 应 用 配 置 成 一 个 具 有 高 度 灵 活 性 的 ， 功 能 强 大 的 设 备 控 制 系 统 。 D e l t a T a u 提 供 了 丰 富 的 附 件 以 供 选 择 ， 如 各 种 类 型 的 轴 卡 ， 数 字 I / O 卡 ， 模 拟 量 输 入 卡 ， 通 信 接 口 ， 反 馈 接 口 和 许 多 其 他 的 附 件 。 U M A C 控 制 器 最 多 可 配 置 为 2 5 6 个 轴 。 P o w e r U M A C 具 有 极 佳 的 控 制 性 能 ， 其 独 特 的 控 制 算 法 和 控 制 特 性 可 以 实 现 明 显 区 别 于 竞 争 产 品 的 运 动 特 性 。 结 合 高 性 能 运 动 机 构 ， 可 以 实 现 1 n m 的 最 小 增 量 运 动 、 m s 级 的 快 速 整 定 时 间 和 极 佳 的 位 置 跟 随 能 力 。 是 超 精 密 加 工 的 理 想 选 择 。   M O R E + 解 决 方 案 s o l u t i o n 航 空 航 天 与 国 防 半 导 体 与 显 示 激 光 微 加 电 子 制 造 m o r e 航 空 航 天 与 国 防 科 技 A e r o s p a c e a n d d e f e n s e s c i e n c e a n d t e c h n o l o g y 案 例 内 容 详 细 介 绍 m o r e 新 闻 资 讯 / N e w s 全 部 公 司 新 闻 行 业 资 讯 技 术 资 讯 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 标 题 新 闻 标 题 2 0 2 0 1 2 1 7 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 新 闻 内 容 资 源 专 业 术 语 线 性 测 量 方 法 计 量 标 准 资 源 与 下 载 综 合 样 本 服 务 与 支 持 维 修 申 请 服 务 预 约 培 训 预 约 定 制 服 务 满 意 度 调 查 快 速 链 接 产 品 解 决 方 案 资 源 服 务 与 支 持 新 闻 与 公 告 联 系 我 们 扫 一 扫 ， 关 注 公 众 号 版 权 所 有 2 0 2 1 2 0 2 4 四 川 博 瑞 华 芯 科 技 有 限 公 司 蜀 I C P 备 ： 0 9 0 3 8 0 4 3 号 2 P o w e r e d b y

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